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传感器系列

  • 溅射薄膜压力传感器
溅射薄膜压力传感器

溅射薄膜压力传感器

  • Product description: 溅射薄膜压力传感器采用应变式测量原理,选用优质沉淀硬化不锈钢作为弹性元件,使用离子束溅射沉积工艺在弹性元件表面制作多层复合膜,采用光刻、离子束刻蚀等工艺制作成薄膜式压力敏感芯体。
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溅射薄膜压力传感器采用应变式测量原理,选用优质沉淀硬化不锈钢作为弹性元件,使用离子束溅射沉积工艺在弹性元件表面制作多层复合膜,采用光刻、离子束刻蚀等工艺制作成薄膜式压力敏感芯体。该敏感元件具有高准确度、高稳定性、温度性能优良、应用温度范围宽等特点。传感器整体采用不锈钢密封结构,具有很好的电磁屏蔽效果;内部元器件、引线均经特殊加固处理,具备较强的耐恶劣环境能力。

主要性能指标:

1. 量程:0~100MPa(表压);

2. 使用温度范围:-200℃~+200℃(非水冷)、1℃~+700℃(水冷)

3.   精度: ±0.1%FS、±0.2%FS,±0,5%FS

4    测量介质:任何能与17-4PH不锈钢兼容的气体和液体

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