传感器系列

溅射薄膜压力传感器

Product description: 溅射薄膜压力传感器采用应变式测量原理，选用优质沉淀硬化不锈钢作为弹性元件，使用离子束溅射沉积工艺在弹性元件表面制作多层复合膜，采用光刻、离子束刻蚀等工艺制作成薄膜式压力敏感芯体。
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溅射薄膜压力传感器采用应变式测量原理，选用优质沉淀硬化不锈钢作为弹性元件，使用离子束溅射沉积工艺在弹性元件表面制作多层复合膜，采用光刻、离子束刻蚀等工艺制作成薄膜式压力敏感芯体。该敏感元件具有高准确度、高稳定性、温度性能优良、应用温度范围宽等特点。传感器整体采用不锈钢密封结构，具有很好的电磁屏蔽效果；内部元器件、引线均经特殊加固处理，具备较强的耐恶劣环境能力。

主要性能指标：

1. 量程：0~100MPa（表压）；

2. 使用温度范围：-200℃~+200℃（非水冷）、1℃~+700℃（水冷）

3. 精度： ±0.1%FS、±0.2%FS，±0,5%FS

4 测量介质：任何能与17-4PH不锈钢兼容的气体和液体

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